zolix     卓立汉光    SPM900    少子寿命成像测试仪

4、6、8 英寸晶圆样品测试，可在此基础上增加小行程电动位移台实现数百纳米至微米尺度的精细扫描

显微尺度的少子寿命成像测试仪

参数指标

系统性能指标：
光谱扫描范围	200-900nm
*小时间分辨率	16ps
寿命测量范围	500ps-1ms（具体视激光器而定）
小尺寸空间分辨率	≤ 1μm@100X 物镜@405nm 皮秒脉冲激光器
大尺寸扫描	可适用4 英寸、6 英寸、8 英寸样品
配置参数：
脉冲激光器	375nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：30ps，平均功率1.5mW@50MHz
	405nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：25ps，平均功率2.5mW@50MHz
	450nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：50ps，平均功率1.9mW@50MHz
	488nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：70ps，平均功率1.3mW@50MHz
	510nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：75ps，平均功率1.1mW@50MHz
	635nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：65ps，平均功率4.3mW@50MHz
	660nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：60ps，平均功率1.9mW@50MHz
	670nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：40ps，平均功率0.8mW@50MHz
	其他皮秒或纳秒脉冲激光器具体视材料及激发波长而定
科研级正置显微镜	落射明暗场卤素灯照明，12V，100W 5 孔物镜转盘，标配明场用物镜：10×，50×，100× 监视CCD：高清彩色CMOS 摄像头，像元尺寸：3.6μm*3.6μm， 有效像素：1280H*1024V，扫描方式：逐行，快门方式：电子快门
小尺寸扫描用电动位移台	高精度电动XY 样品台，行程：75*50mm（120*80mm 可选）， *小步进：50nm，重复定位精度＜ 1μm
大尺寸扫描用电动位移台	XY 轴行程200mm/250mm，单向定位精度≤ 30μm，水平负载：30Kg；
光谱仪	320mm焦距影像校正单色仪，双入口、狭缝出口、CCD出口，配置三块68×68mm大面积光栅， 波长准确度：±0.1nm，波长重复性：±0.01nm，扫描步距：0.0025nm， 焦面尺寸：30mm(w)×14mm(h)，狭缝缝宽：0.01-3mm 连续电动可调
	探测器：制冷型紫外可见光电倍增管，光谱范围：185-900nm（标配，可扩展）
光谱CCD ( 可扩展PL mapping）	低噪音科学级光谱CCD（LDC-DD），芯片格式：2000x256，像元尺寸：15μm*15μm, 探测面：30mm*3.8mm，背照式深耗尽芯片，低暗电流， *低制冷温度-60℃ @25℃环境温度，风冷，*高量子效率值>95%
时间相关单光子计数器 (TCSPC）	时间分辨率：16/32/64/128/256/512/1024ps……33.55μs，死时间＜ 10ns， *高65535 个直方图时间窗口，瞬时饱和计数率：100Mcps，支持稳态光谱测试；
OmniFlμo-FM 寿命成像 专用软件	控制功能：控制样品平移台移动，通过显微镜的明场光学像定位到合适区域， 框选扫描区域进行扫描，逐点获得发光衰减曲线，实时生成发光图像等 数据处理功能：自动对扫描获得的寿命成像数据，逐点进行多组分发光寿命拟合 ( 组分数小于等于4），对逐点拟合获得的发光强度、发光寿命等信息生成伪彩色图像显示 图像处理功能：直方图、色表、等高线、截线分析、3D 显示等
操作电脑	品牌操作电脑，Windows 10 操作系统

电话：0755-84690029     手机/微信：13682357734

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