型号

Carrier.HS100.z.C

Carrier.HS100.xy.C

Carrier.HS100.zTxTy.C

Carrier.S100.xyRz.C

工作环境

.NM， 绝对无磁版本；

.UHV，超高真空版本；

运动方向

Z方向

XY 方向

Z，θx & θy

XY 方向 + Rz旋转

底面尺寸×高度（mm）

150×50×30

150×150×30

150×150×30

150×50×30

主体材料

铝合金 & 不锈钢

自重（g）

1000

运动行程

100 um

100 um ×100 um

100 um，1 mrad & 1mrad

100 um x 100 um Rz:1 mard

中空透孔（mm）

66×66

线性度误差（z方向运动）

0.035%

俯仰/偏摆/旋转

50 urad / 50 urad / 10 urad

/

/

/

运动分辨率（闭环/开环）

1 nm / 0.3 nm

1 nm / 0.2 nm

1 nm / 0.5 nm

1 nm / 0.2 nm

运动可重复精度

± 10 nm

± 10 nm

± 10 nm, ± 0.1urad

± 10 nm

刚性（N/ um）

2.5

2

2

2

共振频率（空载/2.5 kg）

500 Hz/ 200 Hz

420 Hz/ 130 Hz

480 Hz/ 160 Hz

420 Hz/ 130 Hz

最大负载（kg）

5

3.5

2.5

3.5

闭环传感器（闭环版本）

电容式

驱动电压

Max. 150 V

推荐使用温度

-15 ~ 40 °C