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zolix     卓立汉光   Carrier.S100.xyRz.C   中空压电扫描台

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zolix     卓立汉光   Carrier.S100.xyRz.C   中空压电扫描台


产品概述

特点:
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 3.5 kg
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
CarrierHS100.xxx.C/S系列中空压电扫描台命名规则
CarrierHS100.xxx.C/S系列中空压电扫描台选型表

型号

Carrier.HS100.z.C

Carrier.HS100.xy.C

Carrier.HS100.zTxTy.C

Carrier.S100.xyRz.C

工作环境

.NM, 绝对无磁版本;

.UHV,超高真空版本;

运动方向

Z方向

XY 方向

Z,θx & θy

XY 方向 + Rz旋转

底面尺寸×高度(mm)

150×50×30

150×150×30

150×150×30

150×50×30

主体材料

铝合金 & 不锈钢

自重(g)

1000

运动行程

100 um

100 um ×100 um

100 um,1 mrad & 1mrad

100 um x 100 um Rz:1 mard

中空透孔(mm)

66×66

线性度误差(z方向运动)

0.035%

俯仰/偏摆/旋转

50 urad / 50 urad / 10 urad

/

/

/

运动分辨率(闭环/开环)

1 nm / 0.3 nm

1 nm / 0.2 nm

1 nm / 0.5 nm

1 nm / 0.2 nm

运动可重复精度

± 10 nm

± 10 nm

± 10 nm, ± 0.1urad

± 10 nm

刚性(N/ um)

2.5

2

2

2

共振频率(空载/2.5 kg)

500 Hz/ 200 Hz

420 Hz/ 130 Hz

480 Hz/ 160 Hz

420 Hz/ 130 Hz

最大负载(kg)

5

3.5

2.5

3.5

闭环传感器(闭环版本)

电容式

驱动电压

Max. 150 V

推荐使用温度

-15 ~ 40 °C

尺寸图:



电话:0755-84690029     手机/微信:13682357734

QQ: 2844337877        邮箱:2844337877@qq.com




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