型号

Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy1010

Mirrors.Z12TxTy0101

运动方向

TX,TY

Z，Tx & Ty 向

底面尺寸×高度（mm）

详见工程图

主体材料

铝合金 & 不锈钢

运动行程

θX, 3 mrad

θy, 3 mrad

Θx,10mrad

Θy,10mrad

12 um / 1 mrad / 1mrad

运动分辨率 (开环)

0.05urad（开环）

0.2urad（开环）

Z：0.2 nm； Tx：0.05

urad；Ty：0.05 urad

运动分辨率 (闭环)

0.1urad（闭环）

0.5urad（闭环）

Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；

Ty：0.1 urad

线性误差

<0.1%

0.2%

共振频率 (空载)

2 kHz

1 kHz

5.5 kHz

摇摆半径

5.5mm

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闭环传感器（闭环版本）

SGS

电阻式

驱动电压

Max.150V

推荐使用温度

-20~80℃

搭配控制器

Archimedes.3S控制器

镜片重量

30g

30g

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