zolix 卓立汉光 Mirrors.TxTy1010 压电偏转台
产品概述
特点:• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 3.5 kg
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 支持无磁 (NM) 和高真空 (UHV) 选件升级
亚纳米转镜压电偏转台命名规则亚纳米转镜压电偏转台选型表型号 | Mirrors.TxTy0303 | Mirrors.TxTy1010 | Mirrors.Z12TxTy0101 |
运动方向 | TX,TY | Z,Tx & Ty 向 |
底面尺寸×高度(mm) | 详见工程图 |
主体材料 | 铝合金 & 不锈钢 |
运动行程 | θX, 3 mrad θy, 3 mrad | Θx,10mrad Θy,10mrad |
12 um / 1 mrad / 1mrad |
运动分辨率 (开环) | 0.05urad(开环) | 0.2urad(开环) | Z:0.2 nm; Tx:0.05 urad;Ty:0.05 urad |
运动分辨率 (闭环) | 0.1urad(闭环) | 0.5urad(闭环) | Z:0.4 nm; Tx:0.1 urad; Ty:0.1 urad |
线性误差 | <0.1% | 0.2% |
共振频率 (空载) | 2 kHz | 1 kHz | 5.5 kHz |
摇摆半径 | 5.5mm | / |
闭环传感器(闭环版本) | SGS | 电阻式 |
驱动电压 | Max.150V |
推荐使用温度 | -20~80℃ |
搭配控制器 | Archimedes.3S控制器 |
镜片重量 | 30g | 30g | / |
尺寸图
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