型号

UFP1A

UFP1B

UFP1C-L

UFP1C-R

UFP2T-L

UFP2T-R

台面尺寸(mm)

60×60

45×45

台面厚度(mm)

20

25

30

-

移动量

粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm

θx：±3°；θy：±3°

导向机构

线性滑块导轨

交叉滚柱导轨

交叉滚柱轴环

驱动

分厘卡

主体材料及表面处理

铝合金，黑色阳极氧化处理

自重(Kg)

0.28

0.32

0.4

0.64

灵敏度

粗调：≤10µm；精调≤0.5µm

θx：≤25.2″；θy：≤23.4″

静态平行度

≤60µm

-

运动平行度

≤10µm

-

运动直线度

≤3µm

-

水平负载(Kg)

5

5

5

1.5