型号

UFP3C-L

UFP3C-R

UFP5C

UFP5C-R

UFP6C-L

UFP6C-R

行程 (灵敏度)

X

粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm；(粗调：≤10μm；精调：≤0.5μm)

Y

粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm；(粗调：≤10μm；精调：≤0.5μm)

Z

粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm；(粗调：≤10μm；精调：≤0.5μm)

θx

-

-

±3°(≤25.2″)

θy

-

-

±3°(≤23.4″)

θz

-

-

-

-

±4°(≤34″)

导向机构

交叉滚柱导轨

交叉滚柱导轨+交叉滚柱轴环

驱动方式

分厘卡

主体材料及表面处理

铝合金，黑色阳极氧化处理

自重(Kg)

1.74

2.37

2.7

负载(Kg)

1.5

1

0.5