zolix 卓立汉光 GS65-97.Lab.O 位移台
产品概述
特点：• 超安静运动，20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
压电纳米角位移台命名规则压电纳米角位移台选型表型号 | GS65-77.Lab.O | GS65-97.Lab.O |
底面尺寸×高度（mm） | 70×70×20 |
主体材质 | 默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版本 |
自重 | 650g | 650g |
运动行程（°） | +/- 10 |
摇摆半径（mm） | 77 | 97 |
最大速度（°/s） | – 3 |
最小步伐 | 1 urad (0.000057°) |
重复定位精度 |
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驱动频率 | Max. 20 kHz （超安静运动） |
最大负载（g） | 1000 |
自锁力（N*mm） | 50 |
驱动力矩（N*mm） | 20 |
位置传感类型 | - 光栅尺传感（.O ） |
位置传感量程 | 20 ° |
位置传感分辨率 | 0.12urad(6.7m°, 默认); 0.06urad, 0.03urad可选 | 0.1urad(5.4m°, 默认); 0.05urad, 0.02urad可选 |
尺寸图
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