zolix 卓立汉光 LS35x.Lab.o/R 线性位移台
产品概述
LSxxX.lab.O/R系列压电纳米线性位移台特点：• 超安静运动，20HZ驱动频率• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认)；4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型空间传感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
•高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
命名规则
LSxxX.lab.O/R系列 压电纳米线性位移台选型表
型号 | LS25x.Lab.R | LS35x.Lab.o/R | LS65x.Lab.O/R |
底面尺寸×高度（mm） | 25×25×10 | 35×35×12 | 65×65×13 |
主体材质 | 默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版） |
自重（g） | 40g | 102g（.R）200g(.O) | 200g(.O) |
运动行程（mm） | 8 | 20 | 30 |
最大速度（mm/s） | -20 |
最小步伐（nm） | ~15 | ~10 | ~10 |
重复定位精度（nm） | / | 300 | 200 |
驱动频率 | Max. 20 kHz （超安静运动） |
最大水平推力（N） | 2 |
保持力 | 5 | 5 | 5 |
全行程俯仰/偏摆 | 0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012°/0.017°） |
水平负载 | 500g | 500g | 2000g |
竖直负载 | 200g | 200g | 150g |
位置传感类型 | - 电阻型传感（ .R ） | -电阻型传感（ .R ） -光栅尺传感（.O ） | -电阻型传感（ .R ） -光栅尺传感（.O ） |
位置传感量程（mm） | 8 | 20 | 30 |
位置传感分辨率 |
- 150nm | 电阻型传感（ .R ）， 100-200 nm - 光栅尺传感（.O ）， 10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选 |
尺寸图
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