型号

MTS222

MTS223

行程（mm）

30

50

台面尺寸（mm）

90×90

90×110

导轨

交叉滚珠导轨

螺杆导程（mm）

2.5

分辨率（mm）

0.0002

极限速度(mm/s)

20

重复定位精度（mm）

＜0.005

轴向间隙（mm）

＜0.03

步进电机（1.8°）

42步进电机

极限静转矩（Ncm）

20

中心负载（kg）

20

自重（kg）

2.2

2.8

备注

应用真空环境中，需单独订货