33009FL01-010R平面刻划反射光栅的尺寸为为25 x 25毫米，厚度为6毫米。光栅每毫米有600个刻槽，标称波长为300 nm，标称闪耀角为5.2°。衍射光栅在浮法玻璃基板上镀有铝膜层，设计用于一阶Littrow配置。Richardson Gratings的平面刻划反射光栅在其闪耀波长附近的光谱区域中具有很高的效率。刻划光栅在Littrow配置中使用时衍射效率最高。