COHERENT 高意 LineBeam 紫外激光系统
LineBeam 系统是一种支持性光学技术，适用于在大型基板上大规模制造 LTPS 背板，良率极高。
为高达 Gen 10.5 的面板尺寸提供长达 1500 mm 的线光束轮廓。 具有为实现产能和光束利用率最大化而设计的长短轴光束同质性。 出色的脉冲稳定性和深景深可确保提供较大的工艺窗口。
LINEBEAM – 一些关键性能指标
受益于 LineBeam 的顶帽光束轮廓，在短轴和长轴上均具有出色的同质性，全部均为 308 nm 的短波长。
产品规格
参数 | 值 |
线长度 (mm) | 750 | 1000 | 1300 | 1500 |
光束分析器类型 | 平顶双轴 |
焦深 (µm) | ±150 | ±120 | ±120 | ±120 |
长轴同质性 (%) | 0.6 (2σ) |
短轴同质性 (%) | 0.8 (2σ) |
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