COHERENT 高意   IndyStar 1 kHz 准分子激光器

坚固耐用的高占空比工业准分子激光器，专为 193 nm 或 248 nm 波长下高达 2 KHZ 的脉冲重复频率应用而设计。

该生产线工具具备可靠性、长使用寿命、易用性和先进的脉冲控制优势。 IndyStar 激光器广泛用于喷墨嘴钻孔、测量和光学测试。 符合 Semi-S2 标准，可用于掩膜板检测和相关应用。

INDYSTAR 关键性能指标概述

在 193 nm 或 248 nm 下运行，重复频率高达 2 kHz，功率高达 12 W。