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OLYMPUS  奥林巴斯    OLS5100-SAF   3D激光扫描显微镜
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OLYMPUS  奥林巴斯    OLS5100-SAF   3D激光扫描显微镜

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品牌 OLYMPUS  奥林巴斯

OLYMPUS   奥林巴斯    OLS5100-SAF   3D激光扫描显微镜


型号OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
综合倍率

54x ~ 17280x


视场

16 µm ~ 5,120 µm


测量原理光学系统反射型共聚焦激光扫描(激光)显微镜
反射型共聚焦激光扫描(激光-DIC)显微镜
彩色
彩色-DIC


光接收元件激光:光电倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相机

高度测量显示分辨率0.5 nm

动态范围16位

可重复性σn-1*1 *2 *55X:0.45μm,10X:0.1μm,20X:0.03μm,50X:0.012μm,100X:0.012μm

准确度 *1 *3 *50.15 + L/100 μm(L:测量长度[μm])

拼接图像准确度 *1 *3 *510X:5.0+L/100 μm;20X或更高:1.0+L/100 μm(L:拼接长度[μm])

测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *51 nm(典型值)
宽度测量显示分辨率1 nm

可重复性3σn-1   *1 *2 *5

5X:0.4μm,10X:0.2μm,20X:0.05μm,50X:0.04μm,100X:0.02μm



准确度 *1 *3 *5测量值+/- 1.5%

拼接图像准确度 *1 *3 *510X:24+0.5L μm;20X:15+0.5L μm;50X:9+0.5L μm;100X: 7+0.5L μm(L:拼接长度[mm])
单次测量时最大测量点数量

4096 × 4096像素


最大测量点数量

3600万像素


XY载物台配置长度测量模块不适用不适用

工作范围

100 × 100 mm电动

100 × 100 mm 手动

300 × 300 mm 电动

100 × 100 mm 电动


最大样品高度

100 mm

40 mm

37 mm

210 mm


激光光源波长405 nm

最大输出0.95 mW

激光分类2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014*6
彩色光源白光LED灯
电气功率240 W240 W278 W240 W
质量显微镜主体约重31 kg约重32 kg约重50 kg约重43 kg

控制盒约重12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求(温度:20℃±1℃,湿度:50%±10%)。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更高时。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值,可能与保证值不同。
*5 在Evident认证体系下有保证。
*6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。

** Evident提供的显微镜控制器已获得Window 10操作系统许可证。因此,Microsoft的许可条款适用,并且您要同意这些条款。请参阅以下Microsoft的许可条款。
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm



物镜

系列型号数值孔径(NA)工作距离(WD)(mm)
UIS2物镜MPLFLN2.5X0.0810.7
MPLFLN5X0.1520
专用LEXT物镜(10X)MPLFLN10XLEXT0.310.4
专用LEXT物镜(高分辨率)MPLAPON20XLEXT0.61
MPLAPON50XLEXT0.950.35
MPLAPON100XLEXT0.950.35
专用LEXT物镜(长工作距离型)LMPLFLN20XLEXT0.456.5
LMPLFLN50XLEXT0.65.2
LMPLFLN100XLEXT0.83.4
超长工作距离物镜SLMPLN20X0.2525
SLMPLN50X0.3518
SLMPLN100X0.67.6
长工作距离LCD物镜LCPLFLN20XLCD0.458.3-7.4
LCPLFLN50XLCD0.73.0-2.2
LCPLFLN100XLCD0.851.2-0.9

应用软件

标准软件OLS51-BSW

数据采集应用程序分析应用程序(简单分析)
电动载物台软件包应用程序*1OLS50-S-MSP
高级分析应用程序*2OLS50-S-AA
薄膜厚度测量应用程序OLS50-S-FT
自动边缘测量应用程序OLS50-S-ED
颗粒分析应用程序OLS50-S-PA
实验流辅助应用程序OLS51-S-ETA
球体/圆柱体表面角度分析应用程序OLS50-S-SA

*1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2 包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。


Evident激光显微镜

OLS5000-SAF配置示例

OLS5100-SAF配置示例

OLS5100-SAF

  • 100 mm手动载物台

  • 最大样品高度:100 mm

OLS5000-SAF

OLS5000-SAF - 尺寸

OLS5100-EAF

  • 100 mm电动载物台

  • 最大样品高度:210 mm

OLS5000-EAF

OLS5000-EAF - 尺寸

OLS5100-SMF

  • 100 mm电动载物台

  • 最大样品高度:40 mm

OLS5000-SMF

OLS5000-SMF - 尺寸


OLS5100-LAF

  • 300 mm电动载物台

  • 最大样品高度:37 mm

OLS5000-LAF

OLS5000-LAF - 尺寸

控制单元

PC机和控制单元 - 尺寸




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