产品说明
• X、Y和Z轴的最大行程4mm；
• 挠性设计，确保平滑连续运动和长期稳定性；
• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准；
• 紧凑尺寸：112.0mm*112.0mm，不包括驱动器；
• 采用SM13/SM25游标测微头，游标刻度理论精度0.01mm；
• 采用PSM8A差分调节器，游标刻度理论精度2μm；
• 所有调节器都均接驳到共用的基部底座，将串扰降到最低；
• 模块化的设计允许拆卸和更换外置促动器；
• 适用于专业光纤耦合系统、光纤对准或波导定位系统；
我们的三轴Nano X3系列位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。所有驱动器都直接耦合在底部，将系统中运动串扰降到最低。平行挠性设计确保了精确、平滑、连续的运动，摩擦可以忽略。我们提供内置压电驱动版本。
| 手动三轴挠性位移台 | |||
| 型号 | Nano X3-MA | Nano X3-MB | Nano X3-MC |
| 调节器 | SM13 | SM25 | PSM8A |
| 可调行程 | 4mm | ||
| 进给量 | 500μm/转，使用游标刻度10µm为增量 | 粗调：0.35mm/圈；精调：2μm/转（使用游标刻度） | |
| 重量 | 781.6g | 946.5g | 823.1g |
| 压电三轴挠性位移台 | |
| 型号 | Nano X3-MP |
| 可调行程 | 4mm(粗调); 20µm(压电驱动器) |
| 调节器 | SM13游标测微头、压电驱动器 |
| 控制方式 | 开环 |
| 电压范围 | 0-75V |
| 理论分辨率 | 20nm |
| 双向重复性 | 200nm |
| 给进量 | 10μm/分度，500μm/转 |
| 重量 | 828.0g |
示意图
通用参数
Nano X3-MA 手动三轴挠性位移台
• X、Y和Z轴的最大行程4mm；
• 挠性设计，确保平滑连续运动和长期稳定性；
• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准；
• 紧凑尺寸：112.0mm*112.0mm，不包括驱动器；
• 采用SM13/SM25游标测微头，游标刻度理论精度0.01mm；
• 采用PSM8A差分调节器，游标刻度理论精度2μm；
• 所有调节器都均接驳到共用的基部底座，将串扰降到最低；
• 模块化的设计允许拆卸和更换外置促动器；
• 适用于专业光纤耦合系统、光纤对准或波导定位系统；
【手动款】游标测微头调节器的Nano X3系列挠性位移台X、Y和Z行程都是4mm，最大负载1 kg。平台的标称高度是62.5mm。SM系列粗调游标刻度具有10µm分度，这种分度可以在系统中确定一个参考点，用于定位。
