zolix 卓立汉光 SH30.xyz.0 /.C 负载压电扫描台
产品概述
特点：• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um
• 外形尺寸，160mmx160 mmx 35 mm
• 闭环分辨率优于0.3nm
• 最大负载 10 kg
• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 选件升级
选型表型号 | SH30.xyz.0 /.C |
运动方向 | X ,Y ,Z 方向 |
底面尺寸×高度（mm） | 160×160×35 |
主体材料 | 不锈钢 |
自重（g） | 4000 |
运动行程（um） | 30×30×15 |
运动分辨率（nm） | 0.1(开环) 0.3(闭环) |
运动可重复精度（闭环）（nm） | <3 |
偏摆角度（urad） | 20/ 20 / 50 |
共振频率 (空载)（Hz） | 50 |
最大负载（kg） | 10 |
闭环传感器（闭环版本） | 电容式 |
驱动电压（V） | 150 |
推荐使用温度 | -20 ~ 80 °C |
亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列尺寸图
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