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NEWPORT  优铂特    8095-M    设备对准位移台
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品牌 NEWPORT  优铂特







NEWPORT   优铂特    8095-M    设备对准位移台



8095-M XYZθxθyθz 电动六轴对准位移台通过电动控制每个轴来增加常见运动平台的实用性。每个平台都增加了Picomotor™驱动器,可以对X, Y, Z, θx,θy和θz的各种组合进行远程高分辨率(<30 nm)调整。8095-M型六轴对准位移台是用于半导体晶圆对准的理想选择。M6螺纹孔。 警告:安装孔的间距为127mm,因此8095-M无法直接安装在公制面包板上。
六轴俯仰对准平移台

8095 型六轴对准台提供了 XYZΘxΘyΘz 六轴的Picomotor 调节功能,非常适合半导体晶片的对准。并且其配有英制或公制螺纹孔。

Picomotor技术

这些多轴运动对准位移台配备了Picomotor促动器,是实现精细定位和长期稳定性的理想设备。Picomotor促动器具有小于30 nm的分辨率以及最小的间隙,并且无需施加电源即可保持其位置。这些功能使Picomotor促动器在运动控制设备中独树一帜,是典型的固定保持应用的理想选择。

在紧凑型单元中进行多轴光学定位

运动设备对准台将多个堆叠位移台的功能集成到具有多个促动器的单个位移台。这些位移台被设计为将诸如声光调制器的设备或光学器件对准到光束路径,从而避免因为进行多轴定位而组合部件产生的附加摆动。这些位移台具有将一个光轴对准另一个光轴所需的所有自由度。五轴位移台额外提供对焦点的控制功能,而六轴位移台提供侧倾。每个自由度都有一个用于运动的促动器,从而两个促动器在被移动相等距离时提供平移,而一个促动器的运动提供围绕等分轴的倾斜。然后,通过沿相反方向旋转两个促动器螺钉,使安装板围绕其中心旋转。

移动您的光学器件或隔离器而不是光束

我们的多轴位移台专为需要精确定位和高稳定性的应用而设计。这里显示的是使用我们的四轴设备对准台将光调制器对准激光束的典型应用。

参数
  • 位移轴
    X, Y, Z, θx, θy, θz
  • 机制
    Kinematic
  • 驱动方式
    Picomotor
  • 行程范围
    3 mm  
  • 角度范围
  • 负载
    13 N  
  • 最小位移增量
    <30 nm
  • 角分辨率
    θx, θy, θz≤0.2 µrad
  • 连接器类型
    4-pin Connectors (6)
  • 工作温度
    10 to 40°C
  • 螺纹类型
    M6











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