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NEWPORT  优铂特     HXP50V6-MECA   六足位移台

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品牌 NEWPORT  优铂特


NEWPORT   优铂特     HXP50V6-MECA   六足位移台


参数

  • 类型
    Vacuum Compatible
  • 尺寸
    Ø200 x 151 mm
  • 平台直径
    125 mm
  • 中心负载能力
    50 N
  • 行程范围 X、Y、Z
    ±17, ±15, ±7 mm
  • 行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ
    ±9, ±8.5, ±18 °
  • 最小位移增量 X、Y、Z
    0.2, 0.2, 0.1 µm
  • 最小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ
    0.1, 0.1, 0.2 mdeg
  • 单向重复精度 X、Y、Z - 典型值
    ±0.20, ±0.20, ±0.20 µm
  • 单向重复精度 ΘX, ΘY, ΘZ - 典型值
    ±0.40, ±0.40, ±0.20 mdeg
  • 最大速度 X、Y、Z
    2, 1.9, 0.8 mm/s
  • 最大速度(ΘX、ΘY、ΘZ
    2.4, 2.4, 6 °/s
  • 刚度(X、Y、Z)
    2, 2, 25 N/µm
  • 双向重复精度(X、Y、Z),典型值
    ±1.0, ±1.0, ±0.50 µm
  • 双向重复精度(ΘX, ΘY, ΘZ),典型值
    ±0.50, ±0.50, ±1.0 mdeg
  • 连接器
    DB25 Male (6)
  • 电缆长度
    1.5 m
  • 电机
    Stepper motor
  • 原点
    Optical, close to lower limit
  • 原点重复精度
    X,Y,Z: ±5.0, ±5.0, ±2.5 µm
    U,V,W: ±2.5, ±2.5, ±5.0 mdeg
  • 编码器分辨率
    0.42283 µm
  • 最小位移增量
    Open Loop/Closed Loop
    X,Y,Z: 0.2/0.8, 0.2/0.8, 0.1/0.4 µm
    U,V,W: 0.1/0.4, 0.1/0.4, 0.2/0.8 mdeg
  • 轴数
    6
  • 重量
    2.2 kg  
  • 真空兼容性
    10-6 Torr
  • 螺纹类型
    M6
  • MTBF
    5,000 h (25% load, 10% duty cycle)
  • 顺应性

















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