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NEWPORT  优铂特  HXP100PHA-MECA  六足位移台

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品牌 NEWPORT  优铂特

NEWPORT   优铂特   HXP100PHA-MECA   六足位移台


参数

  • 类型
    High Accuracy
  • 尺寸
    Ø300 x 209 mm
  • 平台直径
    200 mm
  • 中心负载能力
    60 N
  • 行程范围 X、Y、Z
    ±27.5, ±25, ±14 mm
  • 行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ
    ±11.5, ±10.5, ±19 °
  • 最小位移增量 X、Y、Z
    0.10, 0.10, 0.05 µm
  • 最小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ
    0.05, 0.05, 0.10 mdeg
  • 单向重复精度 X、Y、Z - 典型值
    ±0.10, ±0.10, ±0.05 µm
  • 单向重复精度 X、Y、Z - 保证值
    ±0.15, ±0.15, ±0.075 µm
  • 单向重复精度 ΘX, ΘY, ΘZ - 典型值
    ±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg
  • 最大速度 X、Y、Z
    12, 10, 5 mm/s
  • 最大速度(ΘX、ΘY、ΘZ
    8, 8, 16 °/s
  • 绝对精度 XYZ,保证值
    ±5.0, ±5.0, ±2.5µm
  • 偏摆 X、Y、Z,保证值
    ±37, ±37, ±37 µrad
  • 俯仰 X、Y、Z,保证值
    ±37.5, ±37.5, ±37.5 µrad
  • 刚度(X、Y、Z)
    3, 3, 24 N/µm
  • 双向重复精度(X、Y、Z),典型值
    ±0.25, ±0.25, ±0.125 µm
  • 双向重复精度(ΘX, ΘY, ΘZ),典型值
    ±0.125, ±0.125, ±0.25 mdeg
  • 双向重复精度 X、Y、Z - 保证值
    ±0.50, ±0.50, ±0.25 µm
  • 连接器
    DB25 - Male (6) and DB15 - Male (6)
  • 电缆长度
    3 m
  • 电机
    DC Servo
  • 原点
    Optical, close to lower limit
  • 原点重复精度
    X,Y,Z: ±5.0, ±5.0, ±2.5 µm
    U,V,W: ±2.5, ±2.5, ±5.0 mdeg
  • 编码器分辨率
    1Vpp 1.31µm pitch
  • 轴数
    6
  • 重量
    7.2 kg
  • 螺纹类型
    M6
  • MTBF
    5,000 h (25% load, 10% duty cycle)
  • 顺应性
    RoHS 3, CE


















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